ISO/TC112/WG1 

工作组会议由WG1召集人，德国莱宝的Magnus Janicki博士主持，16名来自德国、日本、中国的专家学者，以及真空泵制造商代表参加了会议。ISO/TC 112（真空技术）秘书长Juergen Eisenreich列席会议。

我国北京卫星环境工程研究所孙立臣研究员、东北大学刘坤教授、浙江真空设备集团有限公司许涛总工、中科院沈阳科仪股份有限公司研发中心袁方副主任、北京卫星环境工程研究所孙伟、赵月帅，以及全国真空技术标准化技术委员会王玲玲副秘书长等参加了视频会议。

会议由ISO/TC112秘书长Juergen Eisenreich负责会议记录，并编制会议决议。

首先，秘书长Juergen Eisenreich向与会专家介绍了目前ISO/TC 112/WG1注册专家情况，随后向与会专家征询了对会议议程的意见，经确认后，宣布会议正式开始。

本次会议共讨论了“非蒸散型吸气剂泵”和“低温泵”两项ISO标准工作组草案。

会议中主要针对WD阶段日本专家提出的9条意见开展讨论，讨论焦点集中在增加术语“Ultimate operational pressure”、冷却时间测量、盲板法兰是否使用等问题上。

会中，中、日、德三方专家针对上述问题开展了讨论，中方专家亦对日方意见中增加测量方式的可操作性提出了质疑，并希望日方专家能对此给出数据进行论证。

同时，德方专家也对日方专家提出的概念和以AVS标准作为参考依据的思路提出质疑，因为本标准自身性质为ISO标准，在标准效力和应用范围上要远高于AVS标准，应充分考量技术的实际发展和应用情况。

经过多轮讨论后，确定两条技术意见将留待CD阶段，由日方专家进一步补充论据后再继续讨论。其他意见中方专家部分性地接受，后续将依此修改CD草案。

本次会上，中日双方专家的讨论非常激烈，日方专家对此项目亦格外重视！日本国内，由日本真空工业会牵头，组织爱发科（ULVAC）低温泵有限公司、日本住友重机械工业株式会社、日本佳能等公司的专家于会前多次研讨，并专程参会讨论此项草案，旨在力争将日方的意见纳入到低温泵草案中，以维护日方企业在半导体产业中的利益。

随着第四次工业革命推动全球化进入新阶段，“中国制造”与世界经济的融合进一步加快，制造业成为中国参与经济全球化的主要领域，而标准在其中发挥着重要作用，可为企业架起通往市场的桥梁。当前，标准对产业发展、全球贸易的影响力日益凸显，希望中国低温泵生产企业后续能积极加入到该项目的制定工作中，自标准制定之初，切实维护中国企业的利益，努力珍惜这得来不易的话语权，进一步助力中国主导标准的制定和发展。

该草案在WD阶段共收获反馈意见54条，中国代表团共提出33条意见，3条中方所提意见此次会议中未达成协商一致。日方表示将征询生产商的意见或进行试验分析，进而在CD阶段继续讨论。同时该草案亦采纳了德国联邦技术物理研究院（PTB）Karl Jousten博士的大量意见和建议。

该项目WD草案在国内仅收到了来自东北大学、浙江真空设备集团有限公司和中科院沈阳科仪股份有限公司的技术性意见。国内其他生产企业参与意识薄弱，没有意识到从标准制定之初就解决掉卡脖子问题的重要性，也没有注意到标准发布实施后被动跟跑国外企业的压制性。